Двулучевой электронный микроскоп DB-50
DB-50 - это двулучевой сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с катодом c термополевой эмиссией типа Шоттки. Прибор обладает широкой вакуумной камерой и большим предметным столом, удобной оптической навигацией по образцам, имеет широкий выбор детекторов, а также порты для установки различного дополнительного аналитического оборудования и проведения динамических экспериментов (нагрев, охлаждение, сжатие, растяжение и т.д.).
Усовершенствованная конструкция корпуса объектива, высоковольтная туннельная технология (SuperTunnel), конструкция объектива с низкой аберрацией и отсутствие магнитной объективной линзы позволяют получать изображения высоким разрешением на низких ускоряющих напряжениях, в том числе проводить анализ магнитных образцов.
Ионная колонна (ФИП) не только дает возможность получения кросс-секций, но и при наличии наноманипулятора (опция) позволяет готовить ПЭМ-образцы с высокой степенью локализации исследуемых объектов, с их последующим их анализом как локально с помощью СПЭМ-детектора (опция), так и удалённо на ПЭМ сверхвысокого разрешения.
Оптическая навигация, функции автоматизации, хорошо продуманный пользовательский интерфейс, оптимизированные рабочие процессы - даже при отсутствии у вас опыта эксплуатации прибора, вы можете быстро приступить к работе и выполнять исследовательские задачи с гарантированно качественным результатом.
Основные преимущества:
- ФИП высокого разрешения для получения кросс-секций и изготовления ПЭМ-образцов;
- изображения с высоким разрешением при низком ускоряющем напряжении;
- электромагнитный комбинированный объектив уменьшает аберрации, значительно улучшает разрешение при низком напряжении и позволяет наблюдать магнитные образцы;
- большая рабочая камера;
- навигационная камера уже в базовой комплектации;
- регулируемая диафрагма с магнитным отклонением с шестью отверстиями, автоматическое переключение отверстий диафрагмы, отсутствие необходимости в механической регулировке позволяют быстро переключать ток пучка между аналитическим режимом и режимом высокого разрешения;
- системы автоматизации для качественной визуализации и настройки систем микроскопа.
| Тип микроскопа | Двулучевой |
| Область применения | Нет |
| Направление деятельности | Нет |
| Объекты интереса | 11 нм – 100 нм |
| Характеристики электронной пушки: | |
| Тип катода | Термополевой катод типа Шоттки |
| Пятиосевой моторизованный | Нет |
| Пятиосевой моторизованный эвцентрический | Нет |
| Двухосевой моторизованный | Нет |
| Максимальный вес образца, г | 500 |
| Максимальный диаметр образца, мм | 300 |
| Ход по осям X и Y, мм | 110 × 110 |
| Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 1,0 |
| Ход по оси Z, мм | 65 |
| Поворот, град. | 360 |
| Наклон, град. | -10 / +70 |
| Ширина камеры, мм | 380 |
| Детекторы: | |
| Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт. | 24 |
| Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) | Есть |
| ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | 2 |
| Навигационная камера высокого разрешения | Есть |
| Интегрированная система измерения тока луча | Есть |
| Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Нет |
| Внутрилинзовый детектор | Есть |
| Детектор направленных обратно-отраженных электронов (BSED) | Опция |
| Детектор прошедших электронов (STEM) | Опция |
| Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
| Детектор Raman | Опция |
| ЭДС | Опция |
| ДОРЭ | Опция |
| ВДС | Опция |
| Режимы вакуума: | |
| Высокий вакуум, Па | < 5,0 × 10-6 |
| Низкий вакуум, Па | Нет |
| Безмасляная вакуумная система | Есть |
| Дополнительное оборудование: | |
| Литография | Опция |
| Крио-СЭМ | Опция |
| Манипулятор | Опция |
| Зондовые станции | Опция |
| Панель управления микроскопом | Опция |
| Тип столика | |
| Столик для охлаждения | Опция |
| Столик для нагрева | Опция |
| Столик для растяжения/сжатия | Опция |
| Вакуумный шлюз | Опция |
| Функция замедления пучка | Есть |